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Projet:Micro et nanotechnologie >>> Microtechnologie + Microtechniques
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Ébauche à compléter : microtechnologie modifier
Cet article est une ébauche concernant la microélectronique.
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La microtechnologie est l'ensemble des microtechniques, qui sont les techniques de fabrication à l'échelle sub-millimétriques (c’est-à-dire dans le domaine du micromètre), incluant les technologies de fabrication planaire de la micro-électronique et les techniques de micro-usinage utilisées pour la fabrication des microsystèmes.
Exemples d'applications modifier
- Interrupteurs optiques[1]
- Connecteurs optiques
- Matrices de micro-miroirs, ou DMD (Digital Micromirror Device) qui définissent les pixels.
- VCSEL à longueur d'onde variable (Diode laser à cavité verticale émettant par la surface)
- Microbolomètres (bolomètre à l'échelle micrométrique)
Références modifier
Ébauche à compléter : micro-techniques modifier
Procédés : lithographie optique + e-beam, dépôts (évaporation, pulvérisation), gravures sèche et humide.